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Microscopie électronique à balayage

Responsables :

Didier COT et Bertrand REBIERE
Tél. : 04 67 14 91 80

Courriels : didier.cot@umontpellier.fr et bertrand.rebiere@umontpellier.fr

Prestations :

  • Observation d’échantillons secs.
  • Analyse morphologique des surfaces et des sections de céramiques, de films…
  • Taille de pores, tailles et morphologie de particules.
  • Analyses chimiques. Détermination qualitative des éléments chimiques constitutifs des échantillons, composition quantitative, semi quantitative et répartition des éléments chimique sur la zone observée.

Appareillages

Hitachi S4800
Hitachi S4800

Microscope à effet de champ. Détecteur d’électrons secondaires et rétrodiffusés. Tension d’accélération de 0.1 kV à 30 kV. Grandissement maximal est de 800 000x. Résolution de 1 nm à 15 kV. Une option transmission équipe ce microscope : observation d’échantillons fins à 30 kV.
 

Zeiss EVO HD15
Zeiss EVO HD15

Microscope à pointe LaB6. Détecteur d’électrons secondaires et détecteur rétrodiffusés 5 segments. Modes d’observation : vide poussé ou pression variable de 10 à 133 Pa. Résolution de 1.9 nm à 30 kV en vide poussé et 3 nm à 30 keV en pression variable. Platine motorisée 5 axes.
 

Analyseur EDX
Détecteur Oxford Instruments X-Max N SDD
Analyseur EDX X-Max <sup>N</sup> SDD

Détecteur ne nécessitant pas un refroidissement à l’azote liquide. Taille 50 mm2. Logiciel d’analyse Oxford AZTEC permettant de réaliser des analyses ponctuelles qualitatives et quantitatives avec ou sans standards (témoins), d’acquérir des images électroniques et des cartographies élémentaires et de réaliser des profils de concentrations. La fonction cartographie spectrale permet d’acquérir un spectre complet par pixel et de traiter les informations ultérieurement.
 

Métalliseur Quorum Technologies
Métalliseur

Permet de rendre conducteur les échantillons par dépôt d’une couche fine de platine ou carbone