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Accueil > Recherche > Les départements scientifiques > Design de Matériaux Membranaires et systèmes Multifonctionnels (DM3) > CVD assistée Plasma et traitements de surface

CVD assistée Plasma et traitements de surface

L’expertise « CVD assistée Plasma et traitements de surface » du département DM3 est composé de deux personnels permanents : Stéphanie Roualdès, (Maître de Conférences à l’Université de Montpellier) et Vincent Rouessac (Chargé de Recherche au CNRS) et de 2 à 6 personnels non permanents (doctorants, post-doctorants et stagiaires de masters, licences et IUT), suivant la période de l’année.
Il est spécialisé dans les traitements de surface (réticulation, gravure, greffage) et l’élaboration de couches minces par plasmas froids pour des applications membranaires. D’une part, les procédés plasma mis en œuvre peuvent permettent de modifier la surface d’une membrane (céramique ou polymère) pour en améliorer ses propriétés d’usage (notamment ses propriétés de transport) mais aussi sa résistance chimique/thermique. D’autre part, l’élaboration de couches minces par PECVD (Plasma Enhanced CVD) permet de déposer de nouveaux matériaux membranaires céramiques ou hybrides à la surface de supports poreux.
Actuellement, les principales applications visées sont les membranes à conduction ionique pour piles à combustible et les membranes permsélectives à l’hydrogène.

S. Roualdès et V. Rouessac sont membres du Réseau des Plasmas Froids

Quelques micrographies de matériaux PECVD réalisés dans notre équipe :

Dépôt a-SiC_x:H sur alumine macroporeuse
Dépôt a-SiO_xC_y:H superhydrophobe sur membrane cellulosique
Dépôt pp-TMDSO sur wafer Si patterné
Membrane pp-HMDSO sur support macroporeux
Membrane a-SiN_xC_y:H sur alumine mésoporeuse
Dépôt pp-styrène/acide triflique entre 2 électrodes de pile à combustible

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